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	真空電鍍時產生掉膜的原因很多也很復雜。處理起來很棘手，可以考慮從以下幾個方面排除：

    

    
	1、表面清潔度

    

    
	產品表面潔凈度不夠，可以考慮離子源清洗時氬氣放大、時間長點。

    

    
	2、清洗過程中的問題

    

    
	鍍前清洗不到位，或更換了清洗液。

    

    
	3、工藝的問題

    

    
	工藝參數是否有變動，在鍍膜時間和電流上做適當調整。

    

    
	4、靶材的問題

    

    
	鈦靶是否中毒，檢查和更換。

    

    
	5、真空腔是否漏氣

    

    
	進行一次撿漏。

    

    
	6、產品表面氧化

    

    
	氧化的原因很多，可以自行判斷處理。

    
 
    
 
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